Smart-Trak 50 средний расход

СерияSmart-Trak 50средний расход

Техническое описание

ЭКОНОМИЧНЫЙ ЦИФРОВОЙ

ТЕРМОМАССОВЫЙ

РЕГУЛЯТОР РАСХОДА ГАЗА

ДЛЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЕЙ

ОБОРУДОВАНИЯ

Свойства:                                     

• Весь функционал цифрового термомассового регулятора расхода - по ценам оптовых продаж для производителя оборудования
• Регулирование расхода газа до 200 с.л/мин (н.л/мин)
• Стабильность и надежность работы при долгом сроке службы
• Идеален для регулирования расхода газа- носителя при чистке подложек и процессах полировки
• Широкое использование при изготовлении солнечных батарей, в процессе физической конденсации из паровой фазы (PVD) и других применениях в полупроводниковой промышленности
• Точность ± 1,5% от полной шкалы для обычных газов (Air, Ar, CO₂, CH₄, He, H₂, O₂, N₂)
• Воспроизводимость ± 0,25% от полной шкалы
• Усовершенствованная технология 316L SS платинового сенсора и патентованный выпрямитель потока обеспечивают превосходную линейность характеристики
• Корпус из алюминия или стали с уплотнениями из витона
• Локальный дисплей с цифровым контролем уставки с опцией аналоговых задания уставки/выходного сигнала.
• Интерфейс RS232 для связи с программируемым логическим контроллером ( PLC) или сетью компьютеров (ПО и кабели прилагаются)
• RS485 с адресацией и возможностью работы по сети в системе сложных процессов полупроводникового производства
• Двойные I/O DB9 компорты для удобства установки
• Мощный клапан прямого действия минимизирует утечку
• Маркировка CE

Описание:

Регулятор расхода Smart-Trak 50- средний расход, оптимизированный по стабильности, надежности, простоте эксплуатации для большого срока службы, кроме этого демонстрирует высокую точность регулирования потока газа по экономичной цене. Это делает его предпочтительным для производителя оборудования, которому необходима безупречная работа при ограниченном бюджете.

В последней модификации расходомера
Smart-Trak 50 med максимальный расход увеличен с 50 с.л/мин. до 200 с.л/мин. Это как раз диапазон регуляторов расхода газов - носителей, применяемых при производстве солнечных батарей, в процессах очистки и полировки подложек, или контроль продувки при PVD, которые используются в производстве фотоэлектрических модулей,. И конечно, регулирование массового расхода обычных газов в обычных процессах.    

В отличие от множества технологий сенсора CMOS и MEMS, регулятор Smart-Trak 50 med использует проверенную на предшествующих моделях расходомеров и регуляторов передовую технологию капиллярного сенсора с платиновой намоткой для достижении высокой надежности, воспроизводимости и неизменной точности. А также плавный, но мощный клапан прямого действия, бесфрикционный с минимальными утечками.

Регулятор расхода отличается гибкостью и простотой в работе. Он предлагает как аналоговый обмен сигналами для тех, кто работает со старыми системами, так и новейший цифровой обмен для работы с несколькими  приборами одновременно.  Подстройка нуля и нормировка на месте позволяет производить настройку на месте в зависимости от технических условий.

Технические характеристики:

Точность:

± 1,5% от полн шкалы, линейность при Т=0...50С, и

Р= 0,3...10 бари  для стандартных газов: воздух, Ar, CO2, CO, CH4, He, H2, O2, N2.

Воспроизводимость:

± 0,25% от полн шкалы

Газы:

все нейтральные сухие и чистые газы, совместимые с нержавеющей сталью, алюминием и витоном. 

Расход макс:

200 с.л/мин (воздух) или н.л/мин

Давление:

10 бари Ртест =15 бари

Требование к минимальному перепаду давления:

См. таблицу ниже

Требование к давлению:

145 PSI ( определите DP при заказе)

Температура газа и окруж среды:

0...50°С

Динамический диапазон:

20:1 от 5% до 100%, автоматич. закрытие клапана при 4,9%

Время отклика:

2с стандартно до  ± 2% от уставки, меньше или больше по запросу

Чувствительность к температуре:

0,05% от полн шкалы на °С или лучше

Чувствительность к давлению:

0,15% от полн шкалы на 1 бар или лучше

Герметичность:

5х10-9 атм см3/сек по гелию макс

Питание, потр. ток:

24В (±10%) 850 мА регулируемое

RS485  добавьте 130 мА

Вых и сигнал уставки:

Опции

RS232 стандартно;

Лин 4...20мА, макс сопр нагр 500 Ом;

Лин 0...5В;

RS485 с адресацией (без аналог выходов);

ноль, нормировка, уставка настраиваются на месте, ПО и кабель RS232 поставляются

Дисплей:

расход, единицы измерения, полная шкала, уставка.

Материал:

Корпус- анодированный алюминий или нерж сталь, сенсоры - нерж сталь, уплотнение сенсора и седла -витон